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什么是3D MEMS(三维微电子机械系统).pdf

上传者: 2020-07-29 19:21:16上传 PDF文件 134.11KB 热度 15次
MEMS本质上是一种把微型机械组件(如传感器、制动器等)与电子电路集成在同一颗芯片上的半导体技术。一般芯片只是利用了硅半导体的
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