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微电子机械系统工程导论

上传者: 2019-05-22 09:20:28上传 PPT文件 6.69MB 热度 28次
微电子机械系统工程导论,主要内容为:静电敏感与执行机理、平行板电容加速度计、流量传感器、压力传感器、电容式传声器、梳状驱动结构设计等内容
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