论文研究 高压激光化学加工的工艺窗口扩展

激光化学加工（LCM）是一种非常规的去除工艺，其基于电解质和金属表面之间异质化学反应的精确热活化。 由于在此过程中局部过热，会产生沸腾的气泡，这会损害去除质量。 为了减少气泡量，在不同的处理压力下进行激光化学处理。 在各种工艺压力，加工速度和激光功率下，使用电解质磷酸对1级钛进行了去除实验，以便通过评估去除腔的特性来确定工艺窗口的极限。 结果，在更高的过程压力下，用于无干扰激光化学加工的过程窗口变宽了。 工艺压力对去除的几何形状没有影响。 工艺窗口的扩大归因于以下事实：在较高的工艺压力下，电解质的饱和温度升高，因此气泡沸腾始于由激光功率引起的工件上较高的表面温度。 通过将工艺压力从环境压力增加