CMOS集成电路工艺.rar 上传者:syyangr 2020-07-27 03:44:12上传 RAR文件 22.12MB 热度 54次 生长一层薄氧化层 淀积一层氮化硅 光刻场隔离区,非隔离区被光刻胶保护起来 反应离子刻蚀氮化硅 场区离子注入 热生长厚的场氧化层 去掉氮化硅层、薄氧化层 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论