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预制Fe膜结晶状态对FeS2薄膜特性的作用

上传者: 2020-07-24 04:27:23上传 PDF文件 820.54KB 热度 14次
预制Fe膜结晶状态对FeS2薄膜特性的作用,陈旭波,孟亮,利用在不同温度基底上溅射沉积Fe膜并硫化合成FeS2薄膜的方法,研究了Fe膜结晶程度对FeS2薄膜组织结构和电学性能的影响。结果表明,较
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