论文研究 超精密主轴的径向运动测量误差分析

本文对超精密主轴的径向运动测量进行了误差分析，包括电容位移探头的非线性误差，探头的对中误差，工件球的偏心误差以及不同的误差分离方法所引起的误差。 首先，通过实验研究了针对球形表面的电容式位移探头的非线性，并讨论了由于探头相对于人造球的横向偏移而引起的假位移现象。 结果表明，沿径向和轴向的误差运动以及伪影球的偏心旋转都将引起横向偏移，从而导致伪造的探头输出。 此外，详细介绍了三种著名的误差分离方法由角度定位误差引起的测量误差。