用于精密主轴多自由度运动误差测量的T型电容传感器仿真研究
用于精密主轴多自由度运动误差测量的T型电容传感器仿真研究，相奎，王文，本文对新型差分式T型电容传感器的测量原理展开研究，针对主轴多自由度运动误差测量建立了对应的数学模型，在Maxwell中建立了有限元�
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