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硝酸铁溶液刻蚀法制备硅纳米线的研究

上传者: 2020-07-19 18:46:10上传 PDF文件 1.03MB 热度 19次
硝酸铁溶液刻蚀法制备硅纳米线的研究,周阳,王晓娜,在室温下,调整氢氟酸和硝酸铁腐蚀溶液的浓度,控制不同的腐蚀时间,对单晶硅片进行化学腐蚀法制备硅纳米线。测试硅纳米线的表面
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