Rapid thermal processing phosphorus gettering of multicrystalline silicon 上传者：qq_34266 2020-07-18 15:20:49上传 PDF文件 885.25KB 热度 17次 多晶硅的快速热处理磷吸杂研究，李晓强，杨德仁，本文利用微波光电导衰减仪和光学显微镜对多晶硅的快速热处理（RTP）磷吸杂进行了研究，发现RTP磷吸杂存在一个最佳吸杂温度900℃。另 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 收藏 腾讯 微博 用户评论 发表评论 qq_34266 资源：454 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
