1. 首页
  2. 移动开发
  3. 其他
  4. 论文研究 Stress Electric Field Dependent TDDB Characteristics of Ultra Thin HfN/HfO2

论文研究 Stress Electric Field Dependent TDDB Characteristics of Ultra Thin HfN/HfO2

上传者: 2020-07-18 09:08:20上传 PDF文件 292.64KB 热度 10次
超薄HfO2高K栅介质中电场依赖的时变击穿(TDDB)特性 ,杨红,萨宁,本文利用高温工艺制备了等效氧化层厚度(EOT)小于0.9纳米的超薄HfO2高K栅介质MOS器件,研究了其时变击穿(TDDB)特性。结果显示,其TDD
下载地址
用户评论