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论文研究 一种有效去除化学机械抛光后残留有机物的新方法 .pdf

上传者: 2020-07-17 21:56:43上传 PDF文件 244.4KB 热度 14次
一种有效去除化学机械抛光后残留有机物的新方法,武彩霞,刘玉岭,本文提出了硅片化学机械抛光后表面残留的有机物污染,介绍了金刚石膜电化学合成过氧化物的方法,原理。根据有机物易被氧化分解的
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