PECVD法制备硅基类金刚石薄膜的摩擦学性能

Name: PECVD法制备硅基类金刚石薄膜的摩擦学性能
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Author: renxingyangzi

上传者：renxingyangzi 2020-03-05 20:00:02上传 PDF文件 621.11KB 热度 49次

PECVD法制备硅基类金刚石薄膜的摩擦学性能，王学东，王鹏，以N(100)型的单晶硅片为基体，运用等离子体化学气相淀积台在单晶硅片衬底上沉积了类金刚石薄膜。用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度，�

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