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依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究

上传者: 2020-07-19 10:23:35上传 PDF文件 1.02MB 热度 21次
依赖晶体取向的蓝宝石湿法刻蚀特性研究,郭志越,幸研,本文基于球形样品研究了单晶蓝宝石材料在浓硫酸与磷酸混合溶液中的各向异性湿法刻蚀特性。通过测量半球样品刻蚀前后表面坐标点的
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