硅化镁制备单硅烷的工艺研究

单硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造多种高纯度晶体硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅和金属硅化物。介绍了一种以硅化镁、氯化铵为原料,液氨为溶剂,经高压釜加压间歇反应制备单硅烷的方法。实验通过对原料配比、溶剂含水、氯化铵溶液浓度、反应时间和反应温度等制备工艺的研究,得到的优化工艺条件为:氯化铵和硅化镁的物质的量比为8∶1,液氨含水95%。