论文研究 基于二氧化硅工艺的静电微夹爪的实验研究

测试了一种梳状驱动静电微夹爪的特性。 利用显微镜CCD计算机测试平台，通过数据采集和图像处理获得微夹具的状态信息，获得电压-位移特性曲线，并建立数学方程。 对特征方程的分析表明了理论设计和实验结果的一致性和合理性。 分析了造成理论设计与实际测试性能差异的主要因素，并在微型装配领域获得了微型夹持器的设计方法和实验结果。