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厚二氧化硅光波导薄膜的制备

上传者: 2021-02-19 21:43:38上传 PDF文件 355.5KB 热度 9次
随着光通信的飞速发展,Si基SiO2平面光波导集成器件的应用更加重要和广泛。在Si基上制备高质量的厚SiO2薄膜,是制作SiO2光波导及其集成器件的基础。本文介绍了Si基厚SiO2薄膜的几种制备方法。
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