二氧化硅层的主要作用 上传者：力県從吢 2020-12-13 09:26:25上传 PDF文件 25KB 热度 51次 1在MOS电路中作为MOS器件的绝缘栅介质,是MOS器件的组成部分 2扩散时的掩蔽层,离子注入的(有时与光刻胶、Si3N4层一起使用)阻挡层 3作为集成电路的隔离介质材料 4作为电容器的绝缘介质材料 5作为多层金属互连层之间的介质材料 6作为对器件和电路进行钝化的钝化层材料 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
