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TiO2/p+ Si异质结的电致发光

上传者: 2020-07-17 01:44:08上传 PDF文件 624.17KB 热度 18次
TiO2/p+-Si异质结的电致发光,章圆圆,马向阳,利用磁控溅射法在重掺硼硅片(p+-Si)衬底上沉积Ti薄膜,然后通过热氧化制备了TiO2薄膜,从而形成TiO2/p+-Si异质结。研究发现,该异质结
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