论文研究应用于大面积光刻的激光图案检测系统 .pdf
应用于大面积光刻的激光图案检测系统，侯煜，胡贞，用两束相干激光以不同的组合形式对光致抗蚀剂曝光，可在大面积范围内产生精细的二维周期性图案，这个方法适合于产生光电子器件和
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