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论文研究利用TCAD软件优化决定LDMOS击穿电压的参数 .pdf

上传者: 2020-06-12 13:09:09上传 PDF文件 745.77KB 热度 19次
利用TCAD软件优化决定LDMOS击穿电压的参数,陆鑫,,通过对决定一个参考LDMOS(LateralDouble-DiffusedMOS,横向双重扩散场效应管)器件的源漏击穿电压的各结构及其尺寸,位置等参数在TCAD(Techn
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