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Y2O3/Si界面电学特性研究

上传者: 2020-05-31 16:28:39上传 PDF文件 269.78KB 热度 21次
Y2O3/Si界面电学特性研究,王旭,贾仁需,为了研究不同退火温度对Y2O3/Si界面电学特性的影响,对Y2O3/Si界面做快速热退火处理。用CV和IV方法对Al/Y2O3/Si/AlMOS电容进行电学特性测试�
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