Y2O3/Si界面电学特性研究 上传者：fmhbol 2020-05-31 16:28:39上传 PDF文件 269.78KB 热度 41次 Y2O3/Si界面电学特性研究，王旭，贾仁需，为了研究不同退火温度对Y2O3/Si界面电学特性的影响，对Y2O3/Si界面做快速热退火处理。用CV和IV方法对Al/Y2O3/Si/AlMOS电容进行电学特性测试� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
