基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征 上传者：applepill 2020-05-15 21:22:18上传 PDF文件 349.58KB 热度 12次 基于白光相移干涉术的微结构几何尺寸表征，马龙，郭彤，提出了一种基于carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合的白光相移干涉算法，该方法快速，准确，非接触，垂直分辨力可达亚纳米级。 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 applepill 资源：468 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
