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微机电系统(MEMS)模型数学研究简介

上传者: 2020-05-07 23:53:10上传 PDF文件 673.24KB 热度 26次
微机电系统(MEMS)模型数学研究简介,张艳艳,,本文简介微机电系统的物理背景、数学模型和部分研究结果。微机电系统,简称MEMS(micro-electromechanicalsystem),是指微米或纳米级的元�
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