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论文研究MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 .pdf

上传者: 2020-05-05 20:04:40上传 PDF文件 349.27KB 热度 21次
MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究,钟树泉,任晓敏,利用二维动力学模型,通过优化计算MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)反应器的进气流量、操作压力、衬底温度、基座旋转等几个重要
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