论文研究MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究 .pdf 上传者：宛陵秋 2020-05-05 20:04:40上传 PDF文件 349.27KB 热度 44次 MOCVD反应器中瞬态热流场的数值研究，钟树泉，任晓敏，利用二维动力学模型，通过优化计算MOCVD(MetalOrganicChemicalVaporDeposition)反应器的进气流量、操作压力、衬底温度、基座旋转等几个重要 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
