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LP MOCVD反应器中输运现象的数值研究

上传者: 2020-07-17 00:40:02上传 PDF文件 1.09MB 热度 13次
LP-MOCVD反应器中输运现象的数值研究,钟树泉,任晓敏,本文利用二维动力学模型,通过变化MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 反应器的几个重要工艺控制参数,计算了其内部稳态热流场均匀
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