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论文研究电容式微机械陀螺裸芯片测试技术 .pdf

上传者: 2020-05-01 16:15:56上传 PDF文件 323.24KB 热度 15次
电容式微机械陀螺裸芯片测试技术,郭俊敏,邓中亮,MEMS微机械陀螺发展日益兴盛,需求也越来越大。但当今陀螺的设计加工技术依然不是很完善,往往一批产品出来会有很多废品。如何简��
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