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CMOS电容式微麦克风设计

上传者: 2020-09-24 21:48:55上传 PDF文件 156.58KB 热度 10次
本文将针对CMOS微机电麦克风的设计与制造进行介绍,并比较纯MEMS与CMOS工艺微导入麦克风的差异。
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