有机械耦合的电容式硅微陀螺敏感信号读取

硅微机械传感器是用半导体硅加工工艺实现的传感器。体积小使其获得广泛的应用前景。但是由于体积小,微小的绝对机械误差却产生较大的相对误差,带来运动交互干扰,即机械耦合问题。电容式硅微机械陀螺是用于测量转动角速度的传感器。由力学原理可知,由刚体转动(角速度ωe)和平动(线速度vr),可产生一正交的加速度(科利奥里加速度,科氏加速度ac)。