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Lowtemperature growth of highly coriented GaN films on Ag substrates with ECRPEM

上传者: 2020-03-31 20:37:46上传 PDF文件 1.78MB 热度 14次
银衬底上低温沉积GaN薄膜及其性能研究,王帅,秦福文,本文通过利用电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)技术,在在镀银硅片衬底上低温沉积高择优取向的GaN。实验�
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