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论文研究化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅 .pdf

上传者: 2020-02-22 12:52:01上传 PDF文件 474.49KB 热度 22次
化学液相沉积Al2O3薄膜钝化p型黑硅,李永祥,郭婉,本文采用易操作成本低的化学液相沉积法(CLD)在p型黑硅衬底上沉积了均匀的Al2O3钝化层,研究了不同退火温度(300、600和900℃)对钝化��
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