论文研究一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法 .pdf 上传者：u735696828 2020-01-14 09:42:22上传 PDF文件 676.41KB 热度 21次 一种提高流片效率的亚分辨率辅助图形OPC方法，陈翰，段力，随着集成电路制造的关键尺寸不断减小,光刻工艺窗口的大小成为了决定大规模量产产品可靠性和稳定性的重要指标。在65nm及以下先进工� 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 立即下载 用户评论 发表评论 u735696828 资源：19496 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
