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论文研究半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析.pdf

上传者: 2019-09-27 22:27:08上传 PDF文件 191.01KB 热度 26次
论文研究-半导体制造中具有非重入过程的自动组合装置的性能分析.pdf, 将面向资源的着色、赋时Petri网(coloredtimedresourceorientedPetrinet,CTROPN)用于半导体制造业中自动组合装置的建模.CTROPN具有较强的建模能力,能够准确描述自动组合装置的加工过程.借助该模型,对非重入加工过程的初始特性、稳态特性和结束特性进行详细的分析.
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