半导体制造工艺.ppt
1.1 引言
1.2 基本半导体元器件结构
1.3 半导体器件工艺的发展历史
1.4 集成电路制造阶段
1.5 半导体制造企业
1.6 基本的半导体材料
1.7 半导体制造中使用的化学品
1.8 芯片制造的生产环境
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