论文研究新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究 .pdf

Name: 论文研究新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究 .pdf
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Author: 宛陵秋

上传者：宛陵秋 2019-09-24 18:58:04上传 PDF文件 422.88KB 热度 49次

新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究，张文栋，胡杰，本文研究了一种新型的GaAs基压阻式共振隧穿微加速度计结构,该微加速度计的压敏元件采用AlAs/In0.1Ga0.9As双势垒共振隧穿纳米薄膜结构.加

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