论文研究 梳状驱动微加速度计的数值模拟

在这项研究中，我们研究了梳状驱动微结构，这是一种用于测量速度和加速度的MEMS器件。 为了确保结果的准确性和可视化，我们使用COMSOL Multiphysics模拟梳齿驱动器的动力学特性，同时引入了重新啮合的概念。 我们旨在找到最佳的梳齿驱动结构材料，该材料可以为设备提供最理想的第一本征频率。 根据优化过程，银是最合适的建筑材料。 然后，在频域和稳态研究中分析了优化设备和预优化设备的电响应。 我们得出的结论是，电容变化与频率呈线性正相关，并且经过优化的器件每单位频率变化的位移和电容增量都比预先优化的器件大，这表明材料的优化实现了我们的目标。提高电气性能的目标。