论文研究 MEMS加速度计的研究现状与应用综述

MEMS技术的飞速发展使MEMS加速度计变得成熟，应用范围得到了扩展。 研究了多种MEMS加速度计。 根据MEMS加速度计的工作原理，它可以分为：压阻，压电，电容，隧道，谐振，电磁，热电偶，光学，电感等。由于其在尺寸，质量，功耗和功耗方面的出色表现，可靠性，MEMS传感器用于军事应用以及要求高耐环境性的场合。 MEMS加速度计发展Swift，具有良好的应用前景。 为了使MEMS加速度计得到更广泛的了解，阐述了MEMS加速度计的优点。 介绍了MEMS加速度计的研究现状，并对MEMS进行了分析。 加速度计在现实环境中的应用以及MEMS加速度计在未来的发展趋势。 追求高性能，低功耗，高精度，多功能和