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论文研究基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件 .pdf

上传者: 2019-08-18 14:19:52上传 PDF文件 477.07KB 热度 101次
基于Al/TiOx/Al结构的低成本双极性阻变存储器件,李颖弢,袁鹏,本文基于与CMOS工艺完全兼容的TiOx二元金属氧化物材料,采用价格低廉的金属Al作为上下电极,制备了一种成本低廉的Al/TiOx/AlRRAM存储器��
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