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激光 CCD微位移传感器测振研究

上传者: 2021-05-03 06:21:56上传 PDF文件 903.32KB 热度 14次
本文介绍了利用激光-CCD微位移传感器测振的原理和方法。这种测量技术适用于检测较大的振幅值(>60/Am)。在60~800/bm范围内,最大绝对误差<10灿m,相对误差<6%。
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