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半导体的生产工艺流程

上传者: 2019-05-14 01:16:21上传 DOC文件 42KB 热度 37次
微机电制作技术,尤其是最大宗以硅半导体为基础的微细加工技术(silicon-basedmicromachining),原本就肇源于半导体组件的制程技术,所以必须先介绍清楚这类制程,以免沦于夏虫语冰的窘态。
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