晶圆加工生产线蚁群优化排程方法

从实际应用的角度, 分析了晶圆加工生产线排程特点, 建立了晶圆加工生产线排程数学模型(L SM 2W FL ) , 给出了以瓶颈设备为核心、蚁群优化算法为主要工具的晶圆加工生产线排程方法(L SA 2W FL )。基于实际生产线模型仿真验证的结果表明, L SA 2W FL 能够在允许的时间内获得晶圆加工生产线排程方案。