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基于生产线平衡的多重入晶圆制造系统动态投料策略研究

上传者: 2020-07-25 05:48:37上传 PDF文件 197.57KB 热度 13次
基于生产线平衡的多重入晶圆制造系统动态投料策略研究,郭永辉,邵志芳,为克服传统投料策略的缺点,提出基于生产线平衡的动态投料策略思想,并从追求负荷平稳的角度,给出了多重入晶圆生产线平衡的新定
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