直线式超声波电机之研究台湾硕士论文)

本文以两端固定之梁的弯曲振动为基础，设计一新型直线式超音波马达。此新型马达，藉由改变输入电压讯号的频率，驱动单一压电陶瓷片则可控制马达的运动方向。经由理论及有限元素法分析，求得振动子弯曲振动第一及第二模态之共振频率与振型，以决定振动子之外形设计，使振动子可产生左上右下、右上左下之对角线运动。最后着手马达的制作，并经由实验量测得振动子第一及第二模态之共振频率分别为20.2kHz 及54.5kHz，且分别以此两个频率来驱动马达，使滑动子可向左或向右运动。