SJ 21497-2018声表面波器件光刻工艺详解
本文详细介绍了SJ 21497-2018标准中声表面波器件光刻工艺的技术要求。对于光刻机的选择、光刻胶的配方、曝光、显影等方面进行了详细的讲解，并配合实例进行说明，让读者更好地理解光刻工艺的流程。此外，还介绍了当前市面上常见的声表面波器件制作工艺和发展趋势。如果您对声表面波器件制作技术有兴趣，那么本文能够为您提供非常有价值的指导。
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