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使用TCAD仿真进行离子注入实验的报告

上传者: 2023-04-15 21:27:31上传 DOCX文件 7.19KB 热度 6次

TCAD仿真是一种常见的用于工艺仿真的工具。使用TCAD仿真进行离子注入实验的过程和结果。实验中我们使用P型硅片,以及不同能量、剂量的氮离子进行注入。通过TCAD仿真,我们能够获得注入后硅片的电子浓度分布、电子迁移率等重要参数。该实验可以为工艺优化提供重要指导。

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