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CF4 + O 2等离子体处理后沟道刻蚀非晶铟镓锌锌薄膜晶体管的性能和稳定性改进

上传者: 2021-05-03 15:40:46上传 PDF文件 706.4KB 热度 13次
CF4 + O-2等离子体处理后沟道刻蚀非晶铟镓锌锌薄膜晶体管的性能和稳定性改进
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