等离子微盘腔量子阱红外光电探测器

已开发出亚厚度三层(金微盘/量子阱红外光电探测器(QWIP)/金属反射器,MIM)等离子微腔结构作为耦合谐振器,以增强QWIP的光响应性。 由于近场等离子体激元效应,盘腔结构捕获并限制了共振波长的入射光。 与来自同一晶片的参考45度边缘耦合器件相比,响应度提高了3.3倍。 通过仔细选择谐振阶数,这种微盘MIM等离子体结构对减小高清焦平面阵列的像素大小非常有帮助。