叠加法测量紫外探测器非线性的技术研究

叙述了在266 nm波长点测量紫外探测器和紫外光功率计非线性的原理。提出了利用功率叠加法测量紫外探测器非线性参数的新思路, 设计并成功研制了精确测量紫外探测器非线性的装置。利用偏振分光棱镜实现光路的分离与合并, 提高了功率非线性测量的动态范围。采用外界杂散光屏蔽技术, 减小了背景光和杂散信号对测量结果的影响。编写了自动测量软件, 优化了数学模型, 降低了测量不确定度。实验结果表明, 在1 nW~100 μW的功率范围内, 测量重复性小于0.3%, 非线性扩展测量不确定度优于0.8%(k=2)。