深度同步辐射光刻初探 上传者：kun_ni 2021-04-23 02:16:37上传 PDF文件 422KB 热度 35次 LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38~39 μm,叶长约8 μm,高约25 μm的扇叶状微结构元. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论
