深度同步辐射光刻初探 上传者：kun_ni 2021-04-23 02:16:37上传 PDF文件 422KB 热度 11次 LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38~39 μm,叶长约8 μm,高约25 μm的扇叶状微结构元. 下载地址 用户评论 更多下载 下载地址 立即下载 用户评论 发表评论 kun_ni 资源：488 粉丝：0 +关注 上传资源 免责说明 本站只是提供一个交换下载平台，下载的内容为本站的会员网络搜集上传分享交流使用,有完整的也有可能只有一分部,相关内容的使用请自行研究,主要是提供下载学习交流使用,一般不免费提供其它各种相关服务! 本站内容泄及的知识面非常广,请自行学习掌握,尽量自已动脑动手解决问题,实践是提高本领的途径,下载内容不代表本站的观点或立场!如本站不慎侵犯你的权益请联系我们,我们将马上处理撤下所有相关内容！联系邮箱：server@dude6.com
