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深度同步辐射光刻初探

上传者: 2021-04-23 02:16:37上传 PDF文件 422KB 热度 10次
LIGA**技术被认为是制作微机械最有前途的方法,而LIGA技术较为关键的-步是深度同步辐射光刻.报道了深度同步辐射光刻的进展,刻蚀出了外圆直径为38~39 μm,叶长约8 μm,高约25 μm的扇叶状微结构元.
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