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论文研究 叉指微悬臂梁热成像系统的光学原理分析 .pdf

上传者: 2021-04-20 14:03:37上传 PDF文件 644.13KB 热度 7次
叉指微悬臂梁热成像系统的光学原理分析,刘明,董立泉,应用波动光学理论对叉指形微悬臂梁热成像系统光学读出部分的工作原理进行了详细的推导。其光学读出系统的设计目的是将微悬臂梁变
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