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磁膜衬底悬臂梁系统中薄膜应力与应变分析

上传者: 2020-05-17 06:48:07上传 PDF文件 556.24KB 热度 15次
磁膜-衬底悬臂梁系统中薄膜应力与应变分析,那日苏,云国宏,利用四参量能量极小化方法求解了任意薄膜/衬底厚度比悬臂梁系统的弯曲问题。在此基础上重点分析了磁膜应力和应变与构成悬臂梁的�
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